Плазма тазалоочу каражаттардын өзгөчө колдонмолору

Плазманы тазалоо/оюу машиналары электр талаасын түзүү үчүн жабылган идишке эки электродду коюу менен плазманы жаратат. Вакуумдук насос белгилүү вакуум деңгээлин кармап туруу үчүн колдонулат. Газ барган сайын сейрек болгон сайын, молекулалардын ортосундагы аралык жана молекулалардын же иондордун эркин кыймылы да көбөйөт. Электр талаасынын таасири астында бул иондор кагылышып, плазманы пайда кылат. Бул иондор жогорку реактивдүү, дээрлик бардык химиялык байланыштарды үзүүгө жетиштүү энергияга ээ, ар кандай ачык беттерде химиялык реакцияларды жаратат. Ар кандай газ плазмалары ар кандай химиялык касиеттерге ээ. Мисалы, кычкылтек плазмасы өтө кычкылдануу касиетине ээ, газды өндүрүү үчүн фоторезистти кычкылдандырып, тазалоочу эффектке жетишет. Коррозиялуу газ плазмасынын эң сонун анизотропиясы бар, ал оюу талаптарына жооп берет. Плазма менен дарылоо жарыкты пайда кылат, ошондуктан жаркыраган разряд деп аталат.
Плазманы тазалоо механизми биринчи кезекте беттик тактарды кетирүү үчүн плазмадагы активдүү бөлүкчөлөрдүн «активдештирилишине» таянат. Реакция механизми боюнча плазманы тазалоо негизинен төмөнкү процессти камтыйт: органикалык эмес газдар плазма абалына козголот; газ түрүндөгү заттар катуу бетке адсорбцияланат; адсорбцияланган топтор катуу беттеги молекулалар менен реакцияга кирип, продукт молекулаларын түзүшөт; продукт молекулалары газ фазасына ажырайт; жана реакциянын калдыктары бетинен чыгарылат.

Плазманы тазалоо технологиясынын эң маанилүү өзгөчөлүгү - бул металлдарды, жарым өткөргүчтөрдү, оксиддерди жана полипропилен, полиэстер, полиимид, поливинилхлорид, эпоксид, ал тургай политетрафторэтилен сыяктуу көпчүлүк полимердик материалдарды камтыган ар кандай субстрат түрүн иштете алат. Ал бүт жерди жана конкреттүү аймактарды, ошондой эле татаал структураларды тазалай алат.