Плазма тазалоочу Киришүү

Плазма, катуу заттар, суюктуктар жана газдар сыяктуу эле, заттын төртүнчү абалы деп да белгилүү. Газды иондоштуруу үчүн жетиштүү энергия берилгенде плазма пайда болот. Плазманын "активдүү" компоненттерине иондор, электрондор, реактивдүү радикалдар, дүүлүккөн нуклиддер (метастабалдуу абалдар) жана фотондор кирет. Плазманын беттик тазалоо системалары бул активдүү компоненттердин касиеттерин тазалоо, өзгөртүү жана фоторезисттик күл сыяктуу максаттарга жетүү үчүн үлгү беттерин дарылоо үчүн колдонот.