LED RF плазма жабдуулары

LCD RF плазма жабдуулары суюк кристалл дисплей компоненттерин жана тиешелүү электрондук материалдарды беттик тазалоо үчүн атайын иштелип чыккан. Машинанын жалпы өлчөмдөрү 900W × 1750H × 1200D (мм). Анын туруктуу дат баспас болоттон жасалган вакуумдук камерасынын өлчөмү 450 × 300 × 450 мм жана бир партияда алтыга чейин үйүлгөн лотокторду батыра алат. Бул конфигурация системага пилоттук-масштабдагы эксперименттерди да, жогорку-өнөр жай өндүрүшүн да колдоого мүмкүндүк берет.

 

Функционалдык көз караш үчүн, жабдуулар эл аралык таанылган бренддерден алынган жогорку сапаттагы электрдик компоненттерди бириктирип,-узак мөөнөттүү туруктуулукту камсыз кылат. Система кол менен жана толук автоматташтырылган режимдерди камсыздайт, бул иштөөдө ийкемдүүлүктү камсыз кылат. Үч{4}}бийликти башкаруу структурасы-операторду, инженерди жана өркүндөтүлгөн колдонуучуну камтыган-коопсуз өндүрүштү камсыз кылат жана уруксатсыз тууралоолордун алдын алат. Өндүрүшкө көз салуу үчүн, машина ай сайын процесстин маалыматтарын автоматтык түрдө жазып, резервдик көчүрмөлөөчү интегралдык отчеттуулук системасына ээ. Колдонуучулар ар кандай өнүмдөр жана тиркемелер үчүн ыңгайлуу ыңгайлашууну камсыз кылуу менен чексиз сандагы процесс рецепттерин сактап жана кайра чакыра алышат.

Негизги тутум конфигурациясы дат баспас болоттон жасалган түтүк өткөргүчтөрдү жана көөрүктөрдү, ошондой эле ыңгайлаштырылган GDQ вакуумдук клапандар менен бирге натыйжалуу соргучтарды башкаруу үчүн кабыл алат. Вакуумдук өлчөө Pirani каршылык вакуумдук өлчөгүч менен аткарылат, ал так жана туруктуу окууну камсыз кылат. Камераны изоляциялоо үчүн жогорку-вакуумдук дарбаза клапаны камтылган. Башкаруу системасы процесстин параметрлерин так жана ишенимдүү башкарууну камсыз кылуучу кеңейтүү модулдары менен Mitsubishi PLCге таянат.

Техникалык мүнөздөмөлөргө келсек, жабдуулар азот (N₂), аргон (Ar), суутек (H₂) жана кычкылтек (O₂) болгон үч газ каналын сунуштайт. Вакуум деңгээли 10–50 Па арасында көзөмөлдөнөт, басымдын өзгөрүшү 5% чегинде сакталат. Газдын агымы 0–200 sccm диапазонунда жөнгө салынышы мүмкүн. Муздатуу азоту, кысылган аба жана технологиялык газ интерфейстери 0,45 МПа же андан төмөн деңгээлде коопсуз иштейт. Плазма менен дарылоо режими - анод жана катод электроддору алмашып турган түз плазма. Эки жана төрт электроддук топтордун ортосунда бир эле учурда орнотсо болот. Ар бир электроддун эффективдүү бети 380 × 310 мм, ал эми электроддор ортосундагы аралык жөнгө салынуучу, стандарттык диапазону 2,5 см.

Өнөр жайлык колдонмолордо бул жабдуулар капсулалоо (формалоо) процесстерине чейин бетин тазалоо үчүн өзгөчө баалуу. Плазма менен тазалоо органикалык булгоочу заттарды жок кылат жана субстраттын бетин активдештирип, контакт аянтын жана адгезия күчүн натыйжалуу жогорулатат. Бул калыптоо учурунда катмарлануунун же бөлүнүүнүн алдын алат жана продуктунун ишенимдүүлүгүн жогорулатат. Күчтүү дизайны, өркүндөтүлгөн башкаруу функциялары жана процесстин так аткаруусу менен система плазмадан тазалоонун ырааттуу, кайталануучу натыйжаларын берет, бул аны ЖК панелин өндүрүү үчүн, ошондой эле жарым өткөргүч таңгактоо колдонмолору үчүн идеалдуу чечим кылат.

Hot Tags: rf плазма жабдууларын алып келди, Кытай rf плазма жабдууларын өндүрүүчүлөрдү, фабриканы алып келди