Вакуумдук Inline RF плазма жабдуулары

Вакуумдук Inline RF плазма жабдыгы - бул басма схемалардын беттерин тазалоо жана активдештирүү үчүн, өзгөчө IC субстраттык колдонмолор үчүн иштелип чыккан атайын жабдуу. Ал негизинен кургак пленканы сүрөттөө баскычынан кийин жана-масканы ширетүүдөн кийинки каптоодон кийин колдонулат, мында беттин туура даярдалышы адгезия күчүн жогорулатуу жана кийинки процесстерде жогорку ишенимдүүлүктү камсыз кылуу үчүн маанилүү. Башкарылуучу вакуумдук камеранын ичинде плазма менен тазалоону колдонуу менен система органикалык калдыктарды жана жер үстүндөгү булгоочу заттарды эффективдүү түрдө жок кылып, жалпы туташуунун натыйжалуулугун жана продукциянын сапатын жогорулатат.

Бул жабдуунун өзгөчөлүгү анын кош камералуу-архитектурасы. Ар бир камера өз алдынча вакуумдук насос жана RF плазма генератору менен жабдылган, бул параллелдүү иштөөгө же кезектешип колдонууга мүмкүндүк берет. Бул өткөрүү жөндөмдүүлүгүн гана жогорулатпастан, операциялык ийкемдүүлүктү да камсыз кылат. Узак мөөнөттүү{4}}туруктуулукту сактоо үчүн система насостор жана плазма булактары үчүн бирдей иштөө температурасын камсыз кылган жабык- цикл муздатуу модулун бириктирет. Автоматташтырууну талап кылган өндүрүш линиялары үчүн жүктөө жана түшүрүү механизмдерин кол менен иштетүүнү азайтуу жана жогорку жана төмөнкү агым жабдуулары менен үзгүлтүксүз байланышты жеңилдетүү үчүн кошууга болот.

Системанын ичиндеги материалдык агым кылдаттык менен иштелип чыккан. Тактайлар киргизүү станциясына жеткирилет жана роботтук кармагычтар менен бекитилет, алар субстраттарды суб-рамкага жайгаштырышат. Лифт платформасы жана кыймылдаткыч роликтер менен колдоого алынган тактайлар плазмалык тазалоо үчүн вакуумдук камерага жеткирилет. Иштеп бүткөндөн кийин, ошол эле роликтер тактайларды камерадан чыгарышат, ал жерден кармагычтар аларды кайра алып, кийинки этапка өткөрүп беришет. Суб-кадр станциялар арасында автоматтык түрдө айланып, ашыкча токтоп калбастан, үзгүлтүксүз жана натыйжалуу иш процессин камсыз кылат.